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针对晶圆厂内磁场改变时会使电子束产生偏折并造成影像解析度下降或影像扭曲。SC26主动式消磁系统能针对外部磁场动态变化提供稳定的反向磁场以提升拍摄的影像品质。SC...
电镜屏蔽-主动式消磁系统SC24能针对外部磁场动态变化提供稳定的反向磁场以提升电子显微镜的影像品质。SC24主动式消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个感测探头及...
现今的高性能电子束仪器对变化的环境磁场非常敏感。当周遭的磁场改变时会使电子显微镜的电子束产生偏折并造成影像解析度或测量精度下降。SC22主动消磁系统可降低环境交...
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